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Japanese Dictionary

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透過電子顕微鏡基本用語集
成膜
【英】:deposition
物理的なスパッタ法や化学的な気相成長法を用いて、固体表面上に薄膜を形成すること。関連する用語イオンスパッタリングイオンめっき(イオンプレーティング)真空蒸着分子線エピタキシ説明に「成膜」が含まれている用語イオンスパッタリング

Japanese-English Dictionary

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*Looking up names of animals, plants, people and places. =動物名・植物名・人名・地名を引く=